第一百三十九章 晶圓切割裂紋異常

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辛佟靈光一閃，突然想起了斯米克晶圓廠的張凱峻，這個畢業於青華大學的晶圓工程師肯定知道。

他掏出了波導手機，手指點選了幾下，給張凱峻發了一個短訊息。

“這麼分析下來，晶圓切割裂紋的問題已經鎖定到了減薄工序！”羅高工說道。

“是的！”謝工點了點頭。

“減薄工序怎麼會帶來這麼大的應力啊？”羅高工反問道。

“這個回去還要從4m1e的角度排查一下！”謝工回答道。

“謝工，你們減薄使用的磨輪金剛砂顆粒直徑是多少？”辛佟抬起頭來問道。

金剛石顆粒直徑？這問題好專業啊！辛佟沒有幹過減薄，他是怎麼知道的？羅高工無比驚訝，難道辛佟是一個工藝天才？

姜華也非常震驚，老同學跟天王級別的高手討論起工藝問題，竟然一點兒也不落下風啊。

“目前我們減薄分兩次研磨，粗磨使用325#的磨輪，精磨使用900#的磨輪，換算下來，粗磨的金剛砂顆粒直徑為44μm，精磨的金剛砂顆粒直徑為15μm。”謝工對自己管控工序的工藝瞭如指掌。

辛佟“喔”了一下，手指在手機上一陣翻飛，將資訊發給了張凱峻。

“辛經理問得對，我也覺得減薄的問題可能跟磨輪的選擇有關！”經過辛佟的點撥，羅高工好像得到了某種啟示一般。

“我也這樣懷疑！”謝劍風說道。

“粗磨選用325#的磨輪，沒有錯，不過粗磨過後形成的損傷層大約為20μm左右，粗糙度約為1.5μm，精磨使用900#的磨輪，其損傷層大約為5μm左右，粗糙度約為0.5μm，這樣的高低不平紋路，會造成應力集中，使後續工藝劃片產生裂紋，我建議精磨採用2500#磨輪試試，假片做完之後測量一下翹曲度，如果翹曲度小於200μm，你們安排切割驗證。”辛佟非常自信地說道。

這個辛佟真是太逆天了，對減薄工序的瞭解絕對在謝劍風之上啊，羅高工聽了直點頭，說道：“很好！”

“好的，辛經理，我們按照你的要求再做一些假片驗證！”謝劍風點了點頭。

他之前跟辛佟沒有交集，不過聽說過這個人，總覺得辛佟升職太快了，真沒有想到他竟然如此專業，今日一見，佩服得五體投地。

看著工程部老大和ws天王對辛佟的分析連連點頭，姜華也驚呆了，這麼說老同學的本領已經超過這些頂級高手了？

關鍵是他都沒有在晶圓減薄工序呆過一天啊！

昨天去減薄看了一眼，他就無師自通了？

從會議室裡出來，姜華拉住了辛佟，忍不住問道：“老同學，你不是幹鍵合出身的嗎？怎麼對減薄也這麼精通？”

辛佟笑了笑，要不是剛才諮詢張凱峻，他也一頭霧水。

不過，他不想將這件事告訴姜華，就隨便忽悠道：“鍵合工序是王者工序，你幹了鍵合再看其他工序，都很low了。”

不是說隔行如隔山嗎？

老實說他姜華統管fol所有生產工序，也看過減薄、切割、裝片和鍵合，發現不同的工序之間差異其實還挺大的。

“是嗎？”姜華心中是將信將疑。