第一百三十九章 晶圓切割裂紋異常

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陽光正好，微風不燥。

姜華邁著六親不認的腳步，徑直走到了吸菸區，朝著潔白的牆壁一靠，用牙齒咬了一根香菸，將雙手插在了褲兜裡，腦袋不時擺動一下，眼睛東瞅瞅西望望，一副痞帥的樣子。

這個工廠隊伍最龐大的是生產部，作為前道主管，他可是生產部的老二。

老二就要有老二的樣子，最近他無形之中養成了走路的時候六親不認的習慣，抽菸的時候也懶得用手，就用牙齒咬著一直抽，香菸燒到嘴巴邊了，他就往後拉一下嘴唇，露出一排已經被燻黃了的牙齒。

“老同學，有啥事呢？”姜華歪著腦袋問道。

“昨天安排工程技術人員用假片做工藝驗證，也不知道情況怎樣了？”辛佟用手指彈了彈菸灰說道。

“等會咱們一起去車間看看！”

“我隱約感覺這個專案並不簡單，摩托羅拉的專案，我們千萬不能掉以輕心。”辛佟抬起頭仰望著蔚藍的天空說道。

“下一週客戶來晶圓了，是驢子是馬，拉出來熘熘就知道了。”

抽完煙，二人徑直來到了晶圓減薄車間。

現場只有一名工藝技術員在場，姜華一把就將他抓住了：“昨天安排你們工藝做驗證，你們有做過150μm減薄驗證嗎？”

“姜老大，我們昨天做過一片，減薄沒有發現問題，不過聽說切割的時候出現了裂紋，羅高工找到謝老大，他們正在討論問題的對策。”

“是嗎？”辛佟心中一緊。

以前車間減薄只做到過220μm，不過那是做給消費類電子產品的，mpc5200是車規產品，對可靠性要求高，越薄就越容易散熱，沒有想到150μm減薄出問題了。

還好，這只是假片驗證，要是直接拿客戶的實驗片驗證，估計很快就會把實驗片用完了，重新申請實驗片走流程跑物流起碼要耽擱一個月時間。

“走，謝工肯定在工程部，上工程部找他去！”姜華說道。

辛佟點了點頭。

工程部會議室裡，羅高工果然正在討論技術問題。

“辛經理，你來得正是時候，我們正在討論摩托羅拉專案切割裂紋的事情。”羅高工衝著辛佟招了招手。

辛佟點了點頭，找了一個位置坐了下來。

“我們已經改成兩刀切割了，切割對晶片的應力已經降低到最低水平了，沒有想到圓片還是出現了裂紋。”ws天王謝劍風情緒有點失落。

“謝工，兩刀切割的工藝成熟嗎？”羅高工問道。

“我們用這個工藝切割220μm的晶圓，沒有一點問題，對比實驗表明還是跟晶圓的厚度有關，跟切割工藝無關。”謝劍風說道。

辛佟抬頭看了他一眼，心想這謝工功課做得還是挺紮實的，不愧是天王級別的技術高手。

“這麼說來，應力還是來自於減薄工序，那麼我想問你，你有測量過減薄後晶圓的翹曲度嗎？”羅高工問道。

辛佟投過去崇敬的目光，羅高工的邏輯推理能力真是太強大了，因為晶圓產生應力後肯定會有蛛絲馬跡可查的，輕微變形肯定跑不掉。

“老大，我們測量過的，圓片翹曲度差不多到了400μm！”謝工回答道。

辛佟暗自感嘆，真沒有想到謝工也考慮到減薄的應力了啊，天王就是天王，不過400μm是不是有點大了？

“220μm晶圓減薄後的翹曲度你量過嗎？”辛佟抬起頭問道。

“不瞞你說，220μm的晶圓我們也量測過，翹曲度在200μm左右！”謝工回答道。

這麼說問題的根源就是晶圓的翹曲度了！

如何降低晶圓減薄之後的翹曲度呢？