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那些採用Koh溶液腐蝕掉銅線後的裸die,在日光燈下銀光閃閃。
羅技小心翼翼地用金屬鑷子夾持著那些裸die,逐一將它們放置於高倍工具顯微鏡的載物臺上,眼睛一邊盯著顯示屏,一邊用手擰轉著焦距調節機構,不大一會兒,顯示屏上呈現出了晶片焊盤清晰的畫面。
他緩緩地移動著載物臺,觀察了五顆晶片的每一個焊盤,然後搖了搖頭說道:“這五顆晶片,四顆是好的,一顆有彈坑!你看看,就是這個位置!”
辛佟湊近一看,只見平整的焊盤上被撕裂開了一部分,可能是景深的原因,撕裂的部分看上去是黑黑的。
“老羅,你覺得彈坑問題發生的可能原因是什麼呢?”辛佟沉思了片刻問道。
自從收購無極半導體之後,他一直忙著考研,並沒有時間關注銅線工藝的開發工作。
今天第一次接觸這個工藝,辛佟充滿了挑戰的慾望。
“基於我的經驗,可能的原因有這麼幾個方面。一是燒銅球的質量,銅球過大或者過小,銅球表面的氧化,硬度增加,減少緩衝應力。二是基島在基板上浮動使其不平整,應力不均勻。三是晶片焊盤上本身殘留的雜物過多。以上情況都會出現在焊接壓力和超聲功率作用下,造成焊盤鋁層破裂甚至彈坑。”提到彈坑問題發生的根本原因,羅技嘴巴滔滔不絕。
艾琳用柔和的眼神看了看羅技,對於這個父親曾經的愛將,她的心中充滿了好感。
“老羅,銅線工藝開發已經做了好幾個月了,你們發現一些規律了嗎?”辛佟轉過頭問道。
“沒有!”
“譬如出現彈坑問題的時候,你們有沒有統計這些彈坑都來自晶片的同一個焊盤?”辛佟問道。
“我們統計過,問題出現是隨機的!”
“這麼說的話,彈坑問題產生跟它們在基板的位置就沒有什麼關係了,你剛才提到的第二條的可能性就排除了!”辛佟推理道。
羅技點了點頭:“可以這麼理解!”
“這些做實驗的晶片在實驗前你們有做過plasma clean嗎?”辛佟問道。
“鍵合工序前做plasma clean是我們標準的半導體封裝工藝!”羅技說道。
“那麼請排除第三條的可能性。”辛佟胸有成竹地說道。
聽了辛佟深入淺出的分析,羅技佩服得五體投地。
自己對彈坑問題產生的機理雖然非常清楚,不過大部分還只是停留在紙上談兵的水平。
辛佟不一樣,他的看問題直抵問題的根本。
在明月光的時候,他雖然是鍵合工程師出身,不過他做的是金線ball bonding,金線很軟,鍵合從來都沒有彈坑的疑慮,天王於豪是做鋁線wedge bonding的,鋁線也會產生彈坑,羅技在研究鋁線工藝的時候,對彈坑問題有過一些研究。
沒有想到從來沒有接觸過鋁線和銅線工藝的辛佟,竟然可以指導銅線工藝問題的分析,真是讓人難以置信。
“辛老闆,您分析得非常透徹!”
“兄弟,我看問題喜歡透過假象看本質!”
羅技點了點頭。
艾琳用溫柔的目光注視著辛佟,這一刻,心上人就是神一般的存在。
能夠輕輕鬆鬆就身價過億,能夠輕輕鬆鬆就考上清華大學,辛佟有著超越常人的能力。
“老羅,要驗證第一條並不難,我相信你做了很多doE驗證,效果肯定不太理想。”要是效果理想的話,羅技早就大聲告訴全世界他的銅線工藝開發成功了。
“是的!”羅技點了點頭,
“那問題的根源可能就不是你的doE,而是我們鍵合機
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