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不過到了切割工序,藍膜是固定在一個金屬鋼圈上。
“非常有意思,晶圓下面的藍膜套在了鋼圈上!”辛佟說道。
“這層tape是為了保護晶圓在切割過程中免受外部損傷,切割分離後的晶粒會粘在藍膜上,鋼圈是用來固定藍膜的。”謝工解釋道。
“噢!”辛佟點了點頭。
他靜靜地看著晶圓切割,除了金庸的武俠小說,他還從來沒有見過也從來沒有聽過有如此又快又鋒利的刀!
這真是一把驚世好刀!
大開眼界了!
冷靜思考了一下,對於一刀切他還是充滿了疑問,擔心切割應力會造成晶圓崩邊:“謝工,我們減薄後的晶圓厚度還有150微米,一刀切到底是否合理?”
“辛經理,實踐經驗告訴我們一刀切問題不大,當然現在有切兩刀的工藝,叫階梯切割(stepcut),用兩把刀片完成對晶圓的切割,切兩刀這種工藝可以有效改善晶片崩邊的問題。”謝工說道。
“謝工,我們摩托羅拉專案需要採用階梯切割,一刀切的風險太大了!”辛佟說道。
雖然沒有實踐經驗,前一世他是理科大神,從受力分析,他覺得兩刀切對晶圓施加的應力會少很多,肯定質量更好。
“好的,我今天就安排假片試試這個工藝!”謝工點了點頭。
“你可以先試一試,我要的是doe分析過的工藝,確保萬無一失!”辛佟笑著說道。
姜華站在一旁,看他指點四大天王之一的謝劍風,驚訝得說不出半句話來!
這個辛佟早就不是當年那個學渣了!
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